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장비

XeF2 gas

작성자박혁
등록일2017-05-22 14:44:34
조회수3886

안녕하세요, 전자과 대학원생 박혁입니다.

 

XeF2 gas(no plasma)를 사용해서 금속 etching공정 하고 싶은데 가능한가요?

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