안녕하세요. 나노융합기술원 강민재입니다.

메일로 답변을 드린 것 같습니다.

우선 원하시는 디자인을 결정하셔서 단면도를 메일로 보내주시고,

시간을 조정하여 방문해 주시기 바랍니다.

공정만 정해지면 Photo Mask 제작~공정까지 저희 기술원에서 일괄공정이 가능합니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 조연모 님께서 2018-02-28 14:24에 작성하신 글입니다. ↓
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포항공대 물리학과 이종봉교수님연구실 대학원생 조연모입니다.

photolithography공정 맡길때 문의드리고 싶은 점이 있어서 올립니다.

pdms채널을 만들기 위한 틀을 만들기 위해 photolithography를 맡기려고 합니다.

포토리지스트는 su-8를 사용해야 합니다.

제가 맡길때 드려야 할 것이 어떤것들인지를 알고싶습니다.

그리고 포토마스크의 경우에는 따로 만들어서 맡겨야 하는지 아니면 마스크도 만들어주실수 있으신가요?

그리고 포토리지스트의 경우 제가 드려야 하는지 아니면 제공을 해주시는지

silicon wafer등은 어떻게 되는지 등등 알고싶습니다.

photolithography공정과 관련해서는 처음 접해서 상세하게 물어봅니다.

그럼 잘부탁드리겠습니다.

조연모올림