안녕하세요

특성평가팀 백경흠 입니다.

김선옥 연구원님

문의하신 내용 전체적으로 검토를 완료했습니다.

문의하신 두이미지의 차이는 contrast 차이로 판단되며,

focuse가 흐린 부분은 시료 자체가 Silica 계열이라서 그런것 같습니다.​

일반적으로 관찰하고자하는 시료가 전도성이 아닐 경우 Chargeing 현상으로 인하여​ focuse가 흐려지게 됩니다.

이미지 상으로 봤을때 파우더 사이즈 또한 아주 작은것으로 판단이 되는데요

파우더 입자 확인을 위해 배율을 올리면 올릴수록  Chargeing 현상이 심해져서 focuse가 더 흐려지게 될것 같네요

이미지 개선을 위해서는

1차 : 수 nm 정도로 전도성 Pt를 얇게 코팅하는 방법을 추천해 드립니다.

만약 보유하신 시료에 대해 코팅을 할수 없는 경우라면

2차 : 파우더를 분산시키신 기판을 전도성 물질로 바꾸는 방법도 추천해 드립니다.

Glass나 Si wafer가 아닌 금속성 재료 혹은 Si wafer위에 금속을 증착해서 파우더를 분산 시키는 방법을 사용하시면 

Chargeing 현상이 줄어들어서 이미지가 좀더 개선 될 것으로 판단 됩니다.

상기 답변 외에 추가 궁금하시거나

의문점이 있으시면 279-0235번으로 연락주시면 상세하게 답변드리겠습니다. 

감사합니다.

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↓ 원문 : 김선옥 님께서 2017-06-22 11:10에 작성하신 글입니다. ↓
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nint에서 SEM-2장비를 사용하여 측정하였습니다.

첨부한 파일의 4-4가 이전파일이고 6-6이 최근파일인데 focusing이 나가서 image 자체를 사용하기가 어려운데 

sample에 따라서 달라지는 것인지 빛이 고정되어있어서 그런것인지 아님 오퍼레이팅에 관련된 것인지 궁금합니다.