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포스텍 나노융합기술원
장비

[답변] 구리증착 문의

작성자강민재
등록일2018-03-06 13:00:01
조회수3507

안녕하세요. 나노융합기술원 강민재입니다.

Cu 증착 가능합니다.

기판사이즈는 최대 8인치 웨이퍼 형태까지 가능합니다.

공정 일정에 대해서는 이원범책임(279-0226) 또는 박광렬연구원(279-0283)에게 문의하시면 됩니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 최성호 님께서 2018-03-05 15:26에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요.

 

혹시 구리(Cu) 증착(사파이어 기판/ glass 기판)을 부탁 드릴 수 있나요?

 

 

감사합니다.