안녕하세요

SK 하이닉스 차길호입니다

홈페이지에 일부 SiC 제조를 위한 장비 및 공정 절차가 게시 되어 있으나, 관련해서 추가로 문의를 드리고자 합니다.

1. Si 기반 제품 (IGBT, MOSFET, diode)과 SiC 기반 제품 간 제조 공정 및 활용 장비 차이

2. SiC 제품 제조 시 필수 소자/공정 기술 및 주요 Huddle

그리고 주요 장비, 공정/소자 기술, 주요 절차가 포함된 SiC 공정 및 제조 관련 기초 자료가 있으신지요?