안녕하세요, 공정기술팀 Spin Coater 담당자 이은별입니다.

문의주신 내용 확인하였습니다.

현재 Spin Coater 1,2호기에 사용되는 후드는 정상작동 중입니다. 다만 말씀주신 것처럼 배기 압력이 약해 충분히 배기가 되고 있지 않는 상황입니다.

이 문제에 대해 Fab 시설팀과 논의중에 있으며, 현재 배기압력 측정 후 압력을 좀 더 강하게 하는 방향으로 조치를 취할 예정입니다.

문제가 해결되기 전까지는 Spin Coater 사용시에 Hood Door를 반드시 닫고 진행해 주시면 감사하겠습니다.

User 분들이 장비 이용 시 불편함이 없도록 노력하겠습니다. 감사합니다. 

-----------------------------------------------------------------------------
↓ 원문 : 신성환 님께서 2020-07-13 17:05에 작성하신 글입니다. ↓
-----------------------------------------------------------------------------

  

Mask aligner 방에 있는 spin coater 1,2호기를 이용할 때 가동되는 후드가 동작하는지 여쭤보고 싶습니다.

유기용매를 다루는 후드는 휴지나 와이퍼를 후드에 가까이 했을 때 강력하게 빨아들일 정도의 세기가 되어야되는 것으로 알고있는데요,

현재 동작을 하고 있다 하더라도 세기가 약하다고 생각이 됩니다.

혹시 수리나 교체할 예정이 있는 상황인가요?