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장비

후드

작성자신성환
등록일2020-07-13 17:05:00
조회수1469

Mask aligner 방에 있는 spin coater 1,2호기를 이용할 때 가동되는 후드가 동작하는지 여쭤보고 싶습니다.

 

유기용매를 다루는 후드는 휴지나 와이퍼를 후드에 가까이 했을 때 강력하게 빨아들일 정도의 세기가 되어야되는 것으로 알고있는데요,

 

현재 동작을 하고 있다 하더라도 세기가 약하다고 생각이 됩니다.

 

혹시 수리나 교체할 예정이 있는 상황인가요?