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[답변] SiC 제조 공정 문의

작성자이현규
등록일2020-09-14 11:02:10
조회수1090

안녕하세요

아래 문의는 메일로 회신을 드렸습니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 차길호 님께서 2020-09-11 16:26에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요

SK 하이닉스 차길호입니다

 

홈페이지에 일부 SiC 제조를 위한 장비 및 공정 절차가 게시 되어 있으나, 관련해서 추가로 문의를 드리고자 합니다.

 

1. Si 기반 제품 (IGBT, MOSFET, diode)과 SiC 기반 제품 간 제조 공정 및 활용 장비 차이

2. SiC 제품 제조 시 필수 소자/공정 기술 및 주요 Huddle

 

그리고 주요 장비, 공정/소자 기술, 주요 절차가 포함된 SiC 공정 및 제조 관련 기초 자료가 있으신지요?