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장비

폴리머 에칭

작성자고병수
등록일2021-02-04 09:35:16
조회수1415

안녕하세요? 

 

현재 보유 중 이신 DRIE 에칭 장비로 폴리머 계열 O2 RIE 공정이 가능할까요?

 

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