안녕하세요

나노융합기술원입니다.
문의하신 내용은 4point probe로 면저항 측정할 수 있고 200nm면 20옴 정도 나올거 같습니다.

자세한 내용은 장비담당자인 이정익 선임연구원(054-279-0267 / kb3000@postech.ac.kr)으로 문의해 주시면 될 것 같습니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 김주훈 님께서 2020-11-30 12:03에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요. 

ITO 대략 200nm 두께의 박막의 저항을 측정할 수 있는 장비가 NINT에 있을까요?

glass 기판에 ITO 증착되어 있습니다.

감사합니다.