장비
[공정 문의] 2-3 um metal pattern on 100-um Quartz substrate
작성자조성민
등록일2022-05-11 15:32:35
조회수829
안녕하십니까.
100-um Quartz 웨이퍼와 포토 마스크를 제공하면, 아래의 조건에서 금속 패터닝이 가능한지 알고 싶습니다.
그리고 혹시 Dicing 도 가능할까요?
Quartz (Electric Fused)
substrate : 100 um 두께
Metal pattern : 자유 (Au, TiW 등) 2-3 um
첨부 이미지 참고, 빨간색 (metal pattern), 노란색 (Quartz
substrate)
감사합니다.
첨부파일
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첨부파일 #1 POSTECH_ver5_R5.zip (261,439 bytes)