안녕하세요,

저는 포항공과대학교 기계공학과 대학원생 김웅지입니다.

Mask Aligner의 UV Lamp 관련하여 문의를 드립니다. 

현재 나노융합기술원에서 보유하고 있는 Suss MicroTec MA6 장비의 UV Lamp가 UV 400 (i-line)인 것으로 알고 있습니다.

290 ~ 330 [nm]에서의 노광이 필요하여, UV 300은 사용이 가능한지 알고 싶습니다.

그럼, 안녕히 계세요.