안녕하세요, 

한국기계연구원 김혜수입니다. 

E-beam lithography 및 etching 공정을 이용한 Si master 제작 견적 및 예상제작 기간을 문의 드립니다.  

제작하고자 하는 Si master의 스펙은 아래와 같습니다. 

- 패턴 스펙 : width 70 nm, pitch 140 nm, depth 100 nm

- 패턴 형태 : Line and space pattern

- 패턴 영역 : 700um x 700um

감사합니다.

김혜수 드림