안녕하세요. 공정기술팀 강민재입니다.

Qz Wafer의 경우 몇인치 사이즈인지, 공정상 핸들링에 문제가 없는지 등의 확인이 필요합니다.

Lift-off 공정을 사용하여 Au 패턴을 하시려면,

Mask Aligner 사용법을 교육받으시고, 승인 후 직접 사용하셔도 되며, 의뢰를 하셔도 됩니다.

Au 두께에 따라서 적용가능한 패턴사이즈가 달라집니다.

 

Photo 공정 관련은 신민호연구원(279-0237), Process 문의는 박범성책임(279-0231)에게 바로 문의하시면 빠른 답변을 받으실 수 있습니다.

Mask Design만 있으시면 NINT에서 마스크 제작도 가능합니다.

참고하시기 바랍니다.

 

감사합니다.

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↓ 원문 : 조성민 님께서 2022-05-11 15:32에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하십니까.

 

100-um Quartz 웨이퍼와 포토 마스크를 제공하면, 아래의 조건에서 금속 패터닝이 가능한지 알고 싶습니다.

그리고 혹시 Dicing 도 가능할까요?

 

Quartz (Electric Fused)  substrate : 100 um 두께

Metal pattern : 자유 (Au, TiW 등) 2-3 um

 

첨부 이미지 참고, 빨간색 (metal pattern), 노란색 (Quartz substrate)

 

감사합니다.