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HGST, 나노리소그래피 기술 이용해 10 나노미터 비트 패턴 구현

등록일2013-03-06 16:07:26
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HGST, 나노리소그래피 기술 이용해 10 나노미터 비트 패턴 구현
 
<SPAN style=""font-size: " 14px?>HGST가 그 동안 반도체 제조업체들의 독점적인 영역이었던 나노리소그래피 (nanolithography) 기술을 이용해 향후 생산할 하드 드라이브의 밀도를 2배 높일 수 있게 됐다고 밝혔다.
 
HGST 연구소는 지난달 28일, 혁신적인 나노 기술인 자체 결집 분자(self-assembling molecules)와 나노임프린팅(nanoimprinting) 기술을 접목해 10나노미터 넓이의 미세 패턴을 가진 마그네틱섬(magnetic islands) 개발에 성공했다. 이는 원자 약 50개의 넓이로 인간의 머리카락 두께보다 10만 배나 얇은 것이다.
 
HGST 리서치 부문 부사장인 커리 먼스는 “전통적인 하드 디스크 드라이브 제조업체인 HGST가 나노 기술을 통해 혁신을 지속해 나갈 수 있다는 것을 자랑스럽게 생각한다”며, “HGST 연구소에서 사용할 자체 결집 분자 및 나노임프린팅 기술은 향후 십 년 내로 비트패턴드미디어(BPM, Bit Patterned Media)를 비용 효율적인 수단이 되게 할 것이며, 이는 나노스케일의 제조 전반에 큰 영향을 줄 것”이라고 말했다.
 
자체 결집 분자로는 서로 반발하는 세그먼트로 구성된 블록 공중합체(Block copolymer)인 하이브리드 폴리머(Hybrid polymer)를 사용한다. 준비된 표면에 박막으로 도포된 세그먼트는 완벽한 열의 형태로 배열되며, 폴리머 세그먼트의 크기가 열 사이의 간격을 결정한다. 폴리머 패턴을 만들고 나면 라인 더블링(Line doubling)이라 불리는 반도체 업계의 공정을 통해, 기존에 존재하던 열에 더 작고 세밀한 2개의 개별 라인을 만든다.  패턴들은 이후 칩과 디스크 기판에 나노스케일의 패턴을 전사하는, 나노임프린팅을 위한 템플릿으로 변환된다.
 
알브레히트 연구원은 “기존의 포토리소그래피를 사용하지 않고 초소형의 패턴을 만들어 냈다”며 “적절한 화학처리와 표면이 준비되면 이 공정은 더 작은 크기로도 확장할 수 있을 것”이라고 말했다.
 
연구원들은 반복적인 패턴을 생성하는 성질의 자체 결집 분자가 비트패턴드미디어에 적합할 것으로 예상하고 있다. 자체 결집 분자와 나노임프린팅 기술은 디스크 드라이브나 메모리 같은 무결성 애플리케이션이나 더 완벽한 기술을 요구하는 애플리케이션에 도입되고 있다. editor@itworld.co.kr