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나노융합기술원은
실리콘·금속 소재 하이브리드 식각에 특화된
ICP Dry Etcher_GIGALANE를 소개합니다.
2025년 도입된 본 장비는
정밀 식각과 공정 최적화 서비스 제공에 적합한 장비로,
반도체 및 나노 공정의 정밀도 향상에 활용될 수 있습니다.
여러분의 많은 관심과 이용 바랍니다.
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첨부파일 #1 [썸네일]GIGALANE 장비 홍보 1200.png (804,954 bytes)
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