High-k 증착 기술 | ALD

Atomic Layer Deposition 장비를 활용한 공정기술팀의 high-k 증착기술 

Epi 성장기술 | UHV-CVD

 UHV-CVD장비를 활용한 Epi 성장기술  

Activation Anneal | HTA

High Temperature Anneal Furnace 장비를 이용한 공정기술팀의 Activation Anneal 기술 

SiC, GaN 전력소자 제작기술

 차세대 초고전압 분야를 위한 공정장비팀의 SiC, GaN 전력소자 제작기술 

Si IGBT 제작기술

 고효율, 고속 전력 시스템을 위한 공정기술팀의 Si IGBT 제작기술  

Micro Cantilever 제작기술

 압전저항 센서 역할을 하기 위한 공정기술팀의 Micro Cantilever 제작기술 

BioFET(Silicon Nano Wires) 제작기술

 공정기술팀의 장비를 이용한 BioFET (Silicon Nano Wires) 제작 기술 

MEMS Pad 제작기술

 공정기술팀의 장비를 활용한 MEMS Pad 제작기술

OLED 제작기술

 공정기술팀의 One Process 공정을 통한 OLED 투명소자 제작 및 분석

PSS (Patterned Sapphire Substrate) 제작기술

 I-Line Stepper / Wet Station_SPM / Dry Etcher_ICP / CD-SEM / HR FE-SEM (in Clean Room) / 3D Profiler장비를 활용한 PSS (Patterned Sapphire Substrate) 제작기술