나노융합기술원

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연관장비

Mask Aligner_MA6 마스크얼라이너

모델명	MA6
제조사	Suss Microtec
용도	UV노광, 4"& 6" 조각 및 BSA 가능



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

- 【 직접사용 라이선스 대상자 목록 (유효기간 만료 및 자격정지자 제외) 】

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	UV노광, 4인치,6인치	회/매	0	40,000	60,000	80,000	1.직접사용시 시간당 기본 1매 청구 2.Align 공정 의뢰시 20,000원/회 추가, 3.Back side align /특수 align 공정 의뢰시 30,000원/회 추가

Mask Aligner_MA6(마스크얼라이너) 총 이용료: 0원 기준(회/매)