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Equipment 물리분석 미세가공 |
Focused Ion Beam -Ⅰ(Helios 600 with TKD) / FIB -Ⅰ 집속이온빔/전자후방산란 회절 |
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| 모델명 | Helios 600, EBSD Quantax CrystAlign 400 | |
| 제조사 | FEI, Bruker | |
| 용도 | 3차원 가공 및 TEM 시료제작, 단면 관찰, 미세 집합조직 해석 | |
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Focused Ion Beam -Ⅱ(Helios 650 with EBSD) / FIB -Ⅱ 집속이온빔 Ⅱ |
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| 모델명 | Helios, Hikari | |
| 제조사 | FEI, EDAX | |
| 용도 | 3차원 가공 및 구조, 성분의 입체적 분석, EBSD 분석 | |
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Focused Ion Beam -Ⅲ(Helios G3 CX) / FIB-Ⅲ 집속이온빔 Ⅲ |
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| 모델명 | Helios NanoLab G3 CX | |
| 제조사 | FEI | |
| 용도 | 나노 정밀도 이온빔을 이용한 3차원 마이크로단위 시료 제작 및 가공 | |
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Focused Ion Beam -Ⅳ(SMI 3050) / FIB-Ⅳ 집속이온빔 Ⅳ |
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| 모델명 | SII SMI3050SE | |
| 제조사 | SII | |
| 용도 | 3차원 가공 및 TEM 시료제작, 단면 관찰 | |
