나노융합기술원

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연관장비

Thickness Measurement_OP3260 박막두께측정기

모델명	OP3260
제조사	Therma Wave
용도	패턴된 Wafer의 박막의 두께 측정 - Al2O3, Nitride, Oxide



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	수리 필요
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	패턴된 Wafer의 박막의 두께 측정	회/매	0	0	20,000	30,000	매 단위

Thickness Measurement_OP3260(박막두께측정기) 총 이용료: 0원 기준(회/매)