나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

CD-SEM 임계치수 측정 주사현미경

모델명	9380II
제조사	Hitachi
용도	CD 측정



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 100,000원 기준(회/매)

【 직접사용 라이선스 대상자 목록 (유효기간 만료 및 자격정지자 제외) 】

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	CD 측정	회/매	100,000	25,000	40,000	50,000	매 단위(소요시간 30분), 30분 초과 시 1회 추가

CD-SEM(임계치수 측정 주사현미경) 총 이용료: 100,000원 기준(회/매)