나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

Wet Station_SPM SPM 세정

모델명	KJ-30000
제조사	KAIJO
용도	SPM/APM/DHF, 자동진행



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	폐기 예정
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	SPM/APM/DHF	회/매	0	0	0	250,000	Lot 단위

Wet Station_SPM(SPM 세정) 총 이용료: 0원 기준(회/매)