나노융합기술원

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연관장비

Dry Etcher_Poly Si 다결정규소막 식각장치

모델명	Rainbow-4428
제조사	LAM
용도	Poly Si Etch



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	Dry Pump Error
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 100,000원 기준(회/매)

【 직접사용 대상 목록 】

기관명 부서(학과명) 연구책임자 성명

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Auto Poly-Si Dry Etching(Etching Time 5분, Etching Thick 1㎛ 기준)	회/매	100,000	0	50,000	60,000	1. 초과 시 100,000원/기준 추가
	Standard 외 시편 (Etching Time 5분, Etching Thick 1㎛ 기준)	회/매	100,000	0	60,000	70,000	1. 초과 시 100,000원/기준 추가 2. 조각 샘플은 최대 5개까지 진행 가능

Dry Etcher_Poly Si(다결정규소막 식각장치) 총 이용료: 100,000원 기준(회/매)