나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

Dry Etcher_Oxide 산화막 식각장치

모델명	Rainbow-4528
제조사	LAM
용도	Oxide Etch



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 100,000원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Auto Oxide Dry Etching(6inch/Flat Type - Etching Time 5분, Etching Thick 1㎛ 기준)	회/매	100,000	30,000	50,000	60,000	기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨
	Standard 외 시편 진행	회/매	100,000	35,000	60,000	70,000	1. 1um or 300초 초과 시 100,000원/기준 추가 2. 조각 샘플은 최대 5개까지 진행 가능

Dry Etcher_Oxide(산화막 식각장치) 총 이용료: 100,000원 기준(회/매)