나노융합기술원

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연관장비

PE-CVD - P5000 플라즈마증착장치 - P5000

모델명	P5000
제조사	AMAT
용도	SiN 박막증착, 8" 자동진행



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	이중 장비 등록으로 인한 미가동
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	SiN 박막증착	회/매	0	0	0	100,000	TEOS 100,000원/wf * 100,000원/1um 추가 공정 ℃별도 협의

PE-CVD - P5000(플라즈마증착장치 - P5000) 총 이용료: 0원 기준(회/매)