나노융합기술원

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연관장비

PE-CVD - 1 플라즈마증착장치-1

모델명	HiDep-SC
제조사	BMR Technology
용도	SiN, SiO2, a-si 박막증착



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

【 직접사용 라이선스 대상자 목록 (유효기간 만료 및 자격정지자 제외) 】

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	SiN, SiO2, a-si 박막증착	회/매	0	70,000	100,000	140,000	amorphous-si 증착시 300nm 기준 1회

PE-CVD - 1(플라즈마증착장치-1) 총 이용료: 0원 기준(회/매)