Sample: Up to 210mm in diameter, up to 35mm tall 

Scanner: X-Y range 100㎛ ,< 8 inch wafer

           Z range 12㎛

Mode: Tapping mode

        Contact mode

        KPFM mode (Work function measure)

        AMFM mode (Modulus measure)

 ※ 의뢰 시 필요한 정보

    : 샘플 개수, 샘플 당 측정 Point 수, Scan 사이즈를 포함한 그 외 시료 정보

      해상도는 기본 256x256 으로 분석됩니다. (별도 요청 가능)

 ※ 팁 비용(Tip에 따라 금액이 상이함)

    : 사용된 Tip 갯수 만큼 청구됩니다.

(※ 본 장비는 담당자와 사전 협의 후 진행 하오니 예약 신청 시 참고 바랍니다.)

서비스 분석 의뢰를 우선으로 운영되고 있으며, 당일 예약시 담당자 사전 문의 부탁드립니다

(054-279-0293/054-279-0302)

서비스 시간은 샘플링부터 정리하는 시간까지 포함합니다. (종료 시간 5분 전 샘플 정리)

시료 사이즈 및 개수 문의 바랍니다.

Tip 보관 별도 요청 시, 2주까지 보관 가능합니다. (2주 뒤 폐기)

장비는 서비스 우선으로 운영되고 있으며, 서비스 문의가 들어올 시 직접사용 신청 시간 변경을 요청드릴 수 있습니다.

*** 예약은 하루 전까지 취소 가능하며 당일 취소 시 50% 패널티로 청구됩니다.

*** 노쇼의 경우 100% 청구됩니다. (당일 예약시간까지 담당자에게 별도 고지가 없을 경우)

*** 재료비 별도 청구 (사용된 Tip 갯수 만큼 재료비 별도 청구)

*** Cantilever 고정 나사 분실 시 비용 청구 및 경고 1회 부과