나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

PR Track_SVS - 3 자동반송 현상기

모델명	MSX2000
제조사	SVS
용도	미세공정 현상용



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 100,000원 기준(회/매)

【 직접사용 라이선스 대상자 목록 (유효기간 만료 및 자격정지자 제외) 】

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	미세공정 현상용	회/매	100,000	20,000	35,000	40,000	직접사용시 담당자 협의필요.

PR Track_SVS - 3(자동반송 현상기) 총 이용료: 100,000원 기준(회/매)