나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

Wet Station_Ebeam Wet Station_Ebeam

모델명	HWC-MCP
제조사	HIT
용도	현상 및 세정(수동)



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Organic_Cleaning	회/매	0	75,000	100,000	150,000	재료비 별도
	New Chemical	회/매	0	50,000	80,000	100,000	Lot(10매),재료비별도

Wet Station_Ebeam(Wet Station_Ebeam) 총 이용료: 0원 기준(회/매)