장비 규격

  Mass resolution (FWHM)1: 1:1000 

  Mass resolution (FWTM)1: 1:475 

  Mass resolution (FW1%M)1: 1:275 

  Maximum voltage mode pulse rate (kHz): 200

  Maximum laser mode pulse rate (kHz): 250

  Maximum data collection rate (ions/minute): > 2 M  

  Base pressure2 (Torr): < 1E-10 

  Minimum specimen temperature (K): 25

 1 Standard Al specimen

 2 50K specimen temperature

장비 응용분야

  ① 샘플 내 특정 영역에서 화학적 구성 확인  

  ② Grain boundary 확인 및 경계면의 원소 변화 특징 확인 (TKD, TEM)

  ③ 샘플 내 경계면과 특정 층에서 Dopant 분포 특징 확인 

  ④ 특정 방향에 따른 농도 변화 곡선 확인 (ex., Depth profile)