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연관장비

E-beam Evaporator - 2 전자빔 증착장비

모델명	KVE-4000
제조사	코리아바큠테크(KVT)
용도	Ag, Al, Au, Cr, Ti증착 (타 metal은 별도 문의)



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

【 직접사용 대상 목록 】

기관명 부서(학과명) 연구책임자 성명

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Ag, Cr, Ti, Al, Au 등 금속증착	회/매	0	0	0	240,000	1.재료비 : Ag(80,000원/500Å ) , 그외(10,000원/500Å),Au, Pt, Pd등 고가재료 별도 협의, 2. 5000Å이상시 장비사용료 1회 추가 정산 3. 개인 재료 또는 특수 재료 사용 시 Crucible 비용 청구됨 4. 1um 이상은 담당자와 비용 협의 하여 진행, 5. 조각 4개 이상 추가 요금 발생

E-beam Evaporator - 2(전자빔 증착장비) 총 이용료: 0원 기준(회/매)