나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

MEMS Yellow Wet station MEMS Yellow Wet station

모델명	-
제조사	ATIS, Midas System, Jeio Tech, 성원포밍
용도	NEMS Cleaning, wet etching (산 취급)



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

【 직접사용 라이선스 대상자 목록 (유효기간 만료 및 자격정지자 제외) 】

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	SPM Cleaning, 100:1 DHF Cleaning(Wet station -Ⅲ)	회/매	0	20,000	30,000	40,000	1.직접사용시 시간당 기본 1매 청구 2.재료비 비용 추가

MEMS Yellow Wet station(MEMS Yellow Wet station) 총 이용료: 0원 기준(회/매)