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연관장비

NEMS Base System (Spin Coater - 1) NEMS 제작을 위한 Base System

모델명	-
제조사	ATIS, Midas System, Jeio Tech, 성원포밍
용도	NEMS Cleaning, baking, wet etching - Spin Coater(PR, PMMA 등)



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	불용
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Spin Coater -Ⅰ	회/매	0	0	30,000	40,000	사용 신청 이후 담당자에게 Chuck을 받고 사용/ GXR601 PR外 기타 PR 사용시 재료비 추가/시간당 1매 청구

NEMS Base System (Spin Coater - 1)(NEMS 제작을 위한 Base System) 총 이용료: 0원 기준(회/매)