나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

PR Spin Coater_Sawatec 감광막 도포 시스템

모델명	LSM 250
제조사	Sawatec
용도	PR 도포 및 Bake 수동진행



시작일	시
종료일	시
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기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	PR 도포 및 Bake 수동진행	회/매	0	20,000	30,000	40,000	공정 Code : SP08-1_01

PR Spin Coater_Sawatec(감광막 도포 시스템) 총 이용료: 0원 기준(회/매)