나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

PR Asher_FEOL - 2 감광제 제거 시스템-Ⅱ

모델명	DAS2000
제조사	PSK
용도	FEOL 공정의 잔류 PR 제거, DESCUM



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 50,000원 기준(회/매)

【 직접사용 대상 목록 】
기관명 부서(학과명) 연구책임자 성명

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Metal Strip, Dust Etch용(Ashing Time 5분)	회/매	50,000	0	20,000	30,000	1. 초과 시 30,000원/기준 추가

PR Asher_FEOL - 2(감광제 제거 시스템-Ⅱ) 총 이용료: 50,000원 기준(회/매)