나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

Sputter (OLED) 스퍼터 (OLED)

모델명	Sunicel plus 200
제조사	Sunicel
용도



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	Cryo Pump Down
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 0원 기준(회/매)

- 물리적 방법에 의한 박막 증착

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	Metal/산화막 박막 증착	회/매	0	0	160,000	190,000	1 layer 기준

Sputter (OLED)(스퍼터 (OLED)) 총 이용료: 0원 기준(회/매)