나노융합기술원

Equipment 공정기술 포토공정

연관장비

Ion Beam Thinner 이온빔연마기

모델명	PIPS model 691
제조사	Gatan
용도	아르곤이온연마 (TEM 시편준비용)



사용불가 장비	까지
사용불가 사유	1월 15일자로 신소재공학과로 이전
시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원
예상 사용료: 0원 기준()

아르곤이온연마 (TEM 시편준비용)

용도 : 양쪽 GUN을 이용하여 Ar 빔으로 시편중앙을 얇게 만드는 용도.
크기 : 지름 3mm
사용시간 : 20 ~ 120 min
최대시간 : 48h (내부 온도 : 200C)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	아르곤이온연마		0	0	40,000	40,000

Ion Beam Thinner(이온빔연마기) 총 이용료: 0원 기준()