나노융합기술원

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연관장비

I-Line Stepper - 1 노광기-1

모델명	NSR 2005 i10C
제조사	NIKON
용도	미세 Pattern 형성용



시작일	시
종료일	시
	신청날짜를 선택하시기 바랍니다.(Please select an application date.)
기본료
수가
기준	원 회/매
예상 사용료: 150,000원 기준(회/매)

장비사용료 안내

장비사용료	용도	이용료부과기준	이용수가(원)				비고
	용도	이용료부과기준	기본료	내부(포스텍 소속)	직접이용-외부	서비스	비고
	미세 Pattern 형성용	회/매	150,000	27,500	40,000	55,000	직접사용시 담당자 협의필요.

I-Line Stepper - 1 (노광기-1) 총 이용료: 150,000원 기준(회/매)