EDS resolution : 136 eV

 Energy resolution : 0.8 eV

 Electron Gun (Emitter) :Field Emission ZrO/W(100)

 *장비 응용분야

 ①원자 스케일 수준의 구조 분석 : HR-TEM, STEM-BF/HAADF

 ②결정학적 분석 : SAED Pattern,TEM BF/DF, NBD, Kikuchi,dislocation 

 ③화학적 조성 분석 : EELS mapping(Energy Filtered TEM)/EDS(Point/Line-profile/ Mapping) Analysis  

시험분석(나노입자 지름측정/입도분석, 두께측정)