※ FIB 직접 이용은 해당 장비 라이센스가 부여된 자에 한함 

  

샘플은 직경 20mm이하, 높이 6mm이하만 가능 

Pt 코팅시 1회 10,000원 추가금액(재료비) 발생

당일취소, 노쇼 및 서비스 예약 시간 전에 샘플 미 도착 시 서비스 비용의 50% 자동 청구 

예약한 서비스 시간에 늦는 경우 초과 시간 서비스 비용 청구 

Electron Beam resolution : 0.9 nm at 15 kV, 1.4 nm at 1 kV @ 4mm WD

Electron Beam Acceleration Voltage: 350 V to 30 kV

Ion beam resolution : 5.0 nm @ 30 kV @ coincident point

Ion Beam Accelerating Voltage Range: 0.5 kV to 30 kV

Probe current : E-beam 1.1 pA ~ 22 nA, I-beam:  1.5 pA - 20 nA

Stage/Tilt : 5-axis UHR motorized stage/- 10° to +60°

Max sample height : 6 mm  

Gas Injection System : Platinum deposition

11월 15일 13:00 이후 서비스 불가능 (NINT 조직활성화)

11월 21일 16:00 -25일 12:00 장비 사용 불가능(시설 점검으로 인한 유틸리티 공급중단 및 정전)