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Equipment 공정기술 박막공정 |
4 Point Probe - 1 4단 면저항 측정기-1 |
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| 모델명 | CMT-SR2000N | |
| 제조사 | 에이아이티 | |
| 용도 | Sheet Resistance Measurement | |
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AP-CVD 대기압 화학증착장치 |
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| 모델명 | WJ-1000T | |
| 제조사 | Watkins Johnson | |
| 용도 | ILD용 PSG 증착, 자동진행 | |
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Atomic Layer Deposition (ALD) 원자층증착장치 |
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| 모델명 | Plus 200 | |
| 제조사 | QUROS | |
| 용도 | HfO2, Al2O3 원자층 금속증착 | |
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E-Beam Evaporator - 1 전자빔증착기-1 |
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| 모델명 | KVE-C300160 | |
| 제조사 | KVT | |
| 용도 | Ag, Al, Cr, Cu, Fe, Ni, Ti증착 lift-off 공정은 별도 문의 | |
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E-beam Evaporator - 2 전자빔 증착장비 |
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| 모델명 | KVE-4000 | |
| 제조사 | 코리아바큠테크(KVT) | |
| 용도 | Ag, Al, Au, Cr, Ti증착 (타 metal은 별도 문의) | |
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PE-CVD - 1 플라즈마증착장치-1 |
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| 모델명 | HiDep-SC | |
| 제조사 | BMR Technology | |
| 용도 | SiN, SiO2, a-si 박막증착 | |
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PE-CVD - 2 플라즈마증착장치-2 |
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| 모델명 | TELIA200 | |
| 제조사 | TES | |
| 용도 | 박막 TFT 형성, 저온산화막 형성 | |
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Spin Rinse Dryer 스핀건조기 |
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| 모델명 | 8300S | |
| 제조사 | PTLKorea | |
| 용도 | 세정, Wet Etch, 현상 후 건조 | |
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Stress Measurement System 스트레스측정시스템 |
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| 모델명 | 500TC | |
| 제조사 | FSM | |
| 용도 | film stress measurement | |
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UHV-CVD 초고진공화학기상증착기 |
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| 모델명 | Eureka 2000 | |
| 제조사 | Jusung Eng. | |
| 용도 | Si, Si-Ge Epi 형성 | |
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Wet Station_Acid - 1 세정 및 에칭장치 |
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| 모델명 | HWC-MCP | |
| 제조사 | HIT | |
| 용도 | APM/DHF/SPM, QDR | |
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Wet Station_Acid - 2 확산로 Parts |
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| 모델명 | ||
| 제조사 | 특주 | |
| 용도 | 확산로 세정 | |
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Wet Station_Acid - 3 세정 및 에칭장치 - 3 |
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| 모델명 | WS820L | |
| 제조사 | DNS | |
| 용도 | H3PO4/SC-2(HPM)/DHF(항온조)/TMAH/HQDR | |
