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Time |
Title |
Speaker |
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Session I : Status and Trend of MEMS Tools | ||
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4월12일
14:00 ~ 15:25 |
o 스마트마이크로센서 상용화를 위한 파운드리 기반기술 구축 사업 소개(10분)
o Bonding Solutions for MEMS (25분)
o Introduce of MEMS Technology Trend and Si DRIE Tool Status (25분)
o Opportunity for Semiconductor Dry Cleaning Technology to MEMS Fabrication Application (25분) |
최창억 박사(ETRI)
Dr. Thomas Plach (EVG)
Dr. Ian Wright (SPTS)
권성수박사(TES) |
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15:25~ 15:30
(5분) |
Coffee Break | |
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Session II : Technology Trend and Emerging Technology | ||
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4월12일
15:30 ~ 17:45 |
o Silicon H-FET platform을 이용한 Healthcare & Chemical sensor의 적용 (20분)
o Optofluidic bio-MEMS Sensors (25분)
o Electromechanically Actuated Optofluidic Lenses for Dynamic Focusing (25분)
o 압력센서의 최근 기술 동향 및 이슈(25분)
o Group IV 반도체 광 센서 기술(25분) |
이상대사장(아이엠헬스케어)
이상매 교수 (부산대학교)
공성호 교수 (경북대학교)
이상권 (경북대학교)
서동우 박사(ETRI) |
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o 자유토의
주제 : 참여기업 소개 및 파운드리를 이용한 기업지원 기술 교류 활성화를 위한 방향(15분) |
최창억 박사(ETRI) | |
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장소 이동 |
식당(현장 통보) | |
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18:15~ |
o 센서산업 활성화 논의
:석식 및 교류의 시간 |
사전 예약자 |
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Session III : NCNT Introduction | ||
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4월13일
10:00 ~ 11:20 |
o 포항나노센터 기반 기술 현황 소개 (20분)
o Fab Tour (60분) |
최경근 박사 (NCNT) |