반도체 장비 전문기업 예스티가 정부의 차세대 고압 어닐링 장비 개발 국책과제에 단독으로 선정됐다. 

예스티는 향후 세계 최고 수준의 개발 기관과 함께 개발에 속도를 낸다는 계획이다.

차세대 반도체 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 진행한다고 3일 밝혔다. 

예스티와 공동으로 국책과제를 진행하는 포스텍과 한양대 연구진은 다수의 반도체·고압 어닐링 분야에서 

고압 수소 열처리 장비를 상용화해 미국 정보통신 기업 IBM의 표준 공정에 도입한 인물이다. 

한양대 연구책임자를 맡은 박창균 한양대 신소재공학과 BK연구교수는 국내 대표 반도체 장비 기업인 

'주성엔지니어링'에서 15년간 근무하며 부사장(반도체 개발 그룹장)을 역임했다. 

적용 공정을 확대하는 것에 주력할 것"이라며 "반도체 분야 최고 연구진들과 

정밀한 평가를 진행해 고생산성 고압 어닐링 장비를 개발하겠다"고 말했다. 

이어 "이와 별도로 예스티는 연내 공급을 목표로 고압 어닐링 장비의 공정 적용 평가 단계인