접수번호: 12-A0039058
장비이용 신청 내역서
◆ 신청자 기본정보
신청일
2012-12-05
기관명
신청자
전화번호
휴대전화
메일
◆ 신청내용
접수번호
12-A0039058
구분
물리분석팀 그룹
이용목적
연구개발
장비명
Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
이용희망 시작일
2012-12-05 [13]시
이용희망 종료일
2012-12-05 [14]시
◆ Wafer/시편정보
Wafer/시편재질
Wafer/시편두께 및 장수
두께 :
장수 : 장
Wafer/시편크기
인치
공정/분석 물질정보
◆ 요청사항
#1: P,O doping profile 분석
#2-1~6: P,N,O doping profile 분석
Etching rate: 3nm
Depth: 600nm
2026년 07월 27일
