나노융합 기술사업화 지원사업 열람자료

열람자료

열람자료 1 : 기술사업화 지원시설(건물)

열람자료 2 : 기술사업화 지원시설(클린룸)

열람자료 3 : 기술사업화 지원장비(전용)

(열람자료1)

기술사업화 지원시설(건물)

1. 건축개요

구 분	항 목
건물명	나노융합기술원
조감도
대지위치	포항시 남구 지곡동 135번지외 242필지 포항시 남구 효자동 산27번지외 18필지
부지면적	1,658,694.00m2 (501,754.94평)
지역/지구	자연녹지지역, 일반주거지역, 교육연구지구
도시계획시설	학교
도로현황	남동측 24M 도로
용도	교육연구 및 복지시설
시설규모	FAB(지상1층) / R&D(지상6층) / CUB(지하1층, 지상3층)
건축면적	111,537.07m2
연면적	383,601.38m2
용적율산정용	346,203.58m2
건폐율	6.72%
용적율	20.87%
주요구조	FAB ZONE(RC+SC) / R&D ZONE(RC) / CUB ZONE(RC)
외벽	화강석, 커튼월, 샌드위치판넬(ONLY FAB ZONE), THK24 칼라복층유리

2. 건축면적

구분		면적(m2)		면적(평)	비 고
FAB	CLASS 1	149.76		45.30	LITHO ZONE(반도체)
	CLASS 10	108.00		32.67	LITHO ZONE(디스플레이)
	CLASS 100	168.48	482.48	145.95	DIFFUSION & THIN FILM(반도체)
		270.66			DIFFUSION & THIN FILM(디스플레이)
		43.34			DIFFUSION & THIN FILM(기반기술) (YELLOW ZONE)
	CLASS 1,000	196.08	468.19	141.63	DIFFUSION & THIN FILM(기반기술)
		144.46			DIFFUSION & THIN FILM(소재재료)
		127.65			CLEAN CORRIDOR
	CLASS 10,000	838.62	1,016.28	307.42	TEST ZONE
		177.66			DIFFUSION & THIN FILM(소재재료) (SUB FAB)
	AIR SHAFT	147.64		44.66
	소계	2,372.35		717.64	CLEAN ROOM 전용면적
	기타시설	483.84		146.36	SUB FAB
		58.59		17.72	장비반입전실
		15.89		4.81	클린계단
		150.10		45.41	SMOCK/LOCKER
		30.45		9.21	AIR LOCK
	소계	738.87		223.51	(CLEAN ROOM 공용면적)
	합계	3,111.22		941.15
CUB	지하1층	622.99		188.45	기계실-1
	지상1층	858.22		259.61	기계실-2
	지상2층	858.22		259.61	기계실-3
	지상3층	858.22		259.61	전기실/공조실
	소계	3,197.65		967.29
	기타시설	61.43		18.58	SPECIAL GAS 실
		14.40		4.36	BULK GAS 동
		90.00		27.23	SUB FAB 공동구
	소계	165.83		50.17
	합계	3,363.48		1,107.46
R&D	지상1층	1,390.56		420.64
	지상2층	1,217.34		368.25	SMOCK/LOCKER는 FAB 면적표의 기타면적 참조
	지상3층	1,343.64		406.45
	지상4층	1,121.22		339.17
	견학통로	111.90		33.85	지상 2층
	합계	5,184.66		1,568.36
총 합계		11,659.36		3,526.97	FAB + CUB + R&D

3. 시설현황

구 분		단위(m2)	단위(평)
대지면적		21,289 (21,289.26)	6,440
건축면적		5,325 (5,325.10)	1,610
건축연면적	R&D동	6,349 (6,348.76)	1,920
	CUB동	3,153 (3,153.43)	954
	FAB동	3,291 (3,291.01)	996
	부대시설 (벌크가스장치)	34 (33.75)	10
	소 계	12,827 (12,826.26)	3,880
클린룸 (전용면적)	Class 1	150 (149.76)	45
	Class 10	108 (108.00)	33
	Class 100	482 (482.48)	146
	Class 1,000	1,484 (1,484.47)	449
	Tour Course	148 (147.64)	45
	소 계	2,372 (2,372.35)	718

(열람자료2)

기술사업화 지원시설(클린룸)

1. 클린룸 평면도

2. 산업화지원장비 배치도

(열람자료3)

기술사업화 지원장비(전용)

No	Equipment	Process	Model	Maker
1	Track	Coat & Dev	Mark-7	TEL
2	Track	Coat & Dev	Mark-7	TEL
3	Stepper	Exposure	NSR-2005i10C	Nikon
4	Stepper	Exposure	NSR-2005i10C	Nikon
5	Furnace	Gate Oxide	Alpha-808SD	TEL
6	Furnace	Field & Buffer	ALPHA-808SDN	TEL
7	Furnace	JDR & WDR	ALPHA-805SD	TEL
8	Furnace	Alloy & Anneal	ALPHA-808SD	TEL
9	Furnace	Doped Poly	ALPHA-803SC	TEL
10	Furnace	Field & Buffer	ALPHA-805SD	TEL
11	Furnace	JDR & WDR	ALPHA-805SD	TEL
12	Furnace	Reflow	ALPHA-805SD	TEL
13	Furnace	Oxide	ALPHA-805SD	TEL
14	Wet Station	H2SO4 Strip Wet Etch	KJ-30000	Kaijo
15	Wet Station	Cleaning	O-19	Sugai
16	Dry Etch	Poly Etch	4428	LAM . R
17	Dry Etch	Contact Etch	4520	LAM . R
18	Dry Etch	Dust Etch	TCP9608	LAM . R
19	Ashing	PR Ashing	DAS2000	PSK
20	Implanter	High Current	VIISion200	Varian
21	Implanter	Medium Current	E220HP	Varian
22	CVD	PSG	WJ-1000T	WJ
23	CVD	Nitride	P-5000	AMAT
24	Metal	B_Metal	Endura5500	AMAT
25	Metal	F_Metal	Endura5500	AMAT
26	Detape	Detape	ATRM-2100	Takatory
27	Metrology	Thickness	OP3260	Therma Wave
28	Metrology	Resistivity	RS35C	Promatrix
29	Metrology	CD-SEM	9380	Hitachi
30	Metrology	4Point Probe	CMT-SR2000N	AIT Tech