차세대 반도체 선도기술개발 및 공정서비스
포항나노기술집적센터 반도체그룹은 국가의 차세대 반도체 산업과 기술 발전에 기여하기 위해 산업체 실무경력을 갖춘 전문인력과 60여종의 반도체 공정장비를 갖추고, 산업계·학계 ·연구계를 대상으로 반도체 단위공정·모듈공정·일괄공정 서비스 및 반도체재료의 시험 평가를 수행하고 있습니다.
공정장비는 포토공정장비, 식각공정장비, 열확산공정장비, 박막공정장비 등으로 구성되어 일괄공정이 가능하며, 각 장비들은 8inch wafer를 기본으로 진행하며, 일부 장비는 조각시편까지 진행 가능합니다. 또 6inch wafer를 기본으로 한 MEMS 공정장비를 구축하여 관련 연구기관과 산업체에 공정서비스를 수행하고 있습니다.
반도체그룹은 미래 수요를 대비한 핵심기술로 EUV 노광, 전자빔 노광, ICP 식각장치를 이용한 나노 패터닝(20nm 이하) 공정과 원자층박막증착기, 초고진공 단결정성장기 등을 이용한 차세대 박막 공정 및 재료 개발을 선정하여 중점 모듈공정으로 개발을 진행 중입니다.
일괄공정은 고전력 개별소자 공정을 구축하여 지역중소기업의 산업화를 지원하고 있으며, 현재 나노 개별소자 공정과 0.5um 수준의 CMOS 집적소자공정을 구축하고 있습니다.
차세대 디스플레이 핵심 재료 및 공정 기술 개발
포항나노기술집적센터 디스플레이그룹은 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED), 유기박막트랜지스터 (Organic Thin Film Transistor, OTFT)와 플렉시블 디스플레이 기술 개발을 위한 장비 및 시설을 갖추고 기업지원 및 연구개발을 진행하고 있습니다.
유기발광다이오드, 유기박막트랜지스터, 플렉시블 디스플레이의 특징으로 낮은 구동 전압, 유연성, 얇고 가볍다는 점을 이용함으로써 응용 범위가 넓다고 할 수 있습니다. 디스플레이그룹은 산,학,연 공동협력체제의 구축을 통해 OLED, OTFT, Passivation 등 디스플레이 기술 개발을 지원하고자 하며 이를 구현하기 위해 기판재료, 소자전극, 봉지공정기술 개발을 위한 장비 및 서비스 체제를 갖추고 있습니다.
OLED 증착장비(OLED Evaporation System)는 Full Color Device 제작이 가능한 200×200mm Glass 공정과 자동화된 증착 공정으로 패널 제작이 가능하며 관련된 기술 개발 지원을 할 수 있도록 구성되어 있습니다.
잉크젯 프린팅(Ink-jet Printing), 스핀코팅(Spin Coating), 유기/금속증착(OMBD) 장비를 이용한 저분자, 고분자 유기 반도체 물질을 active layer로 형성하여 OTFT 공정 및 소자 제작을 지원하며 플라즈마 화학기상증착(PECVD) 장비를 이용하여 유/무기 하이브리드 방식에 의한 Passivation 공정이 가능합니다.
포항나노기술집적센터 디스플레이그룹은 산업체 지원, 인력 양성, 기술 이전 사업을 통해 디스플레이 산업 및 기업 기술개발을 지원하는 역할을 수행하고자 합니다.
나노소재 개발 및 원자단위 분석
포항나노기술집적센터 측정분석그룹은 나노소재ㆍ재료 영역에서 세계 최고수준의 분석장비를 갖추고 각 분야별 전문가들로 구성되어 3차원 토털 분석 서비스를 지원하고 있습니다. 우리는 반도체, 디스플레이, 철강, 에너지 등의 산업분야에서 관련 소재의 원자단위 구조분석과 ppm~ppb 단위 성분분석을 지원하고 있으며 특히 능숙한 pin-point 영역 시편제작 기술을 통해 극 미세 특정영역에서 분석이 가능하도록 시스템을 갖추고 있습니다.
특히 2대의 구면수차보정 전자현미경을 통해 High resolution HREM 분석 뿐 아니라 STEM의 BF, HAADF 이미지 및 나노수준의 EDS, EELS 성분 분석이 서비스되고 있으며, 국내 유일한 3D Atom Probe Tomography 기술을 통하여 구성성분의 3차원적 위치분석 및 ppm 단위 농도분석을 구현하고 있고 또한 최신의 SIMS 분석을 통해 박막, 에너지소재, 철강 등의 ppb 단위 정량분석 서비스를 지원하고 있습니다.
측정분석그룹은 산업체의 불량분석 및 애로기술 지원, 학연의 연구결과 도출 지원 및 양질의 논문을 위한 분석지원에 많은 경험과 노하우를 가지고 있으며 특별히 reverse engineering을 포함하여 특허창출 및 분쟁해결을 위한 기술지원 경험도 보유하고 있어 명실상부한 국내 최고수준의 나노측정분석그룹으로 자리매김 하고 있습니다.
