- 장비목록보기
- 서비스지원
장비목록보기
 |
 |
 |
B0000055-082011-A0002 | ||
|---|---|---|---|---|
 |
PECVD System | |||
 |
플라즈마 화학 기상 증착기 | |||
 |
아텍시스템 | |||
 |
UF-CVD200 | |||
 |
30~50nm/min, ≤±5.0% | |||
|
 |
플라즈마 화학 기상 증착기 | ||
 |
||||
장비상세설명
장비사용료
 |
 |
 |
 |
 |
|
|---|---|---|---|---|---|
 |
 |
||||
| 플라즈마 화학 기상 증착기 | 회/매 | 120,000 | 150,000 | 매 단위 | |
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
장비담당자
 |
 |
 |
|---|---|---|
| 장대진 | 054-279-0238 | jangdj@postech.ac.kr |
