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B0000055-072002-A0023 | ||
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EUV Reflectometry | |||
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극자외선반사광측정장치 | |||
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VMT | |||
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ARX-2000RM | |||
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70 ～ 150eV | |||
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EUVL Mask의 분석 반사도 측정 | ||
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장비상세설명
장비사용료
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| EUVL Mask의 분석 반사도 측정 | 1시간 | 0 | 200,000 | 1시간 단위 | |
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
장비담당자
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| 전영권 | 054-279-0211 | junyk@postech.ac.kr |
