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B0000055-092005-A0002 | ||
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RTP for RTO | |||
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급속열산화막용 급속열처리기 | |||
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MATTSON | |||
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AST2800 | |||
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Only 8 | |||
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RTO, 급속열처리, High-k 후처리 | ||
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장비상세설명
장비사용료
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| RTO, 급속열처리, High-k 후처리 | 회/매 | 40,000 | 50,000 | 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨 | |
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
장비담당자
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| 임태화 | 054-279-0223 | iiiaaa@nano.or.kr |
