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B0000055-082002-A0006 | ||
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Dry Etcher_20nm급 | |||
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플라즈마 유도결합 식각장치 | |||
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DMS | |||
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Silicon/metal hybrid etcher | |||
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2500 W, 13.56 MHz | |||
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20nm급 식각 | ||
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장비상세설명
장비사용료
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| 20nm급 식각 | 회/매 | 80,000 | 100,000 | ||
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
장비담당자
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| 강성민 | 054-279-0228 | ggang25@postech.ac.kr |
